洁净氮气柜Class1级日期:2011年8月3日 浏览[1334]
品牌：SUNYEA
1.洁净氮气柜的内尺寸：W1490*H1500*D680mm;外尺寸暂定（高度不能过高） 层板：5层 ；
2.洁净氮气柜在使用过程中，对每层五点洁净度进行测量（对角四点加交叉一点），必须满足颗粒≦10ea@0.3um & ≦10ea@0.2um。（过滤器安装99.9995）；
3.温湿度24小时不间断的显示及监控，洁净氮气柜在完全关闭的情况下，湿度不能超过±3%的波动；
4.洁净氮气柜内湿度从环境湿度降低到设定值10%RH的时间不能超过30分钟（≥75L/min）；
5.洁净氮气柜内放置的硅片的TDH试验必须通过。即经过干燥2小时的硅片不能有不正常或超标返颗粒的现象产生(返颗粒取样测试后总数平均数与原有硅片颗粒数对比≦2ea（包含0.2um 及0.3um），除首片和最末片，其余最大增加不超过3颗。
6.洁净氮气柜内每层放满的硅片盒，经过干燥2小时后，每层硅片盒经5点取样（同上位置）及定点测试静电值必须≦500V；
7.洁净氮气柜内不能有氮气的死角，使用风速测定仪来检测内部硅片放置各点的风速，不能有较大差异（各点风速差异必须≦0.5m/sec）；
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